產(chǎn)品分類
產(chǎn)品中心
20W EUV光源
激光驅動白光光源
用于HVM的的EUV光源的一大優(yōu)勢就在于可以在10 kHz或更高的脈沖重復頻率下運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等特點，加之采用Z-pinchM技術，非常適用于計量以及研究等應用。
主要特征 
返回列表頁產(chǎn)品特點
-獨特的無電極Z-Pinch技術〔(專利正在申請中)低電極碎巴/低成本
典型應用
-符合CE和SEMI S2-0715標準
產(chǎn)品特征
·小型緊湊性價比高占地面積小
