熱門關(guān)鍵詞:
寬帶光源 激光器 電光調(diào)制器 光放大器 高速光通信 光電探測器
產(chǎn)品中心
10 Watt EUV光源

激光驅(qū)動白光光源

EQ-10采用了升級版的無電極Z-pinchT技術(shù),具有緊凌易用,高可靠性以及低成本等特點(diǎn)非常適用于測量以及研究等應(yīng)用領(lǐng)域。該款光源已經(jīng)在全球交付30多臺,均得到客戶的一致好評,現(xiàn)已經(jīng)成為EUV用戶的主要光源來源。
主要特征 
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產(chǎn)品特點(diǎn)
-獨(dú)特的無電極Z-Pinch技術(shù)〔專利正在申請中)低電極碎巴/低成本
典型應(yīng)用
–使用Xenon將10W轉(zhuǎn)換為2pi產(chǎn)品功率充足適用于各種應(yīng)用
產(chǎn)品特征
-高達(dá)2 kHz的三復(fù)頻率可以一周七天,每天24小時連續(xù)工作