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太赫茲法布里帕羅標準具│TFPE
太赫茲法布里帕羅干涉儀
太赫茲法布里-珀羅標準具(TFPE)是一種法布里-珀羅干涉儀,其反射面之間的距離固定,由高電阻率浮區(qū)硅的平平板制成。標準具的平整度和平行度比常規(guī)平平窗口更好。標準具厚度的測量精度很高。
主要特征
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產(chǎn)品特點
-0.5-1THz范圍
典型應用
·大光圈,52毫米
產(chǎn)品特征
·鏡面定位精度高,±1.25 um