產(chǎn)品分類
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光開(kāi)關(guān)
標(biāo)準(zhǔn)CL系列光開(kāi)關(guān)-單模
標(biāo)準(zhǔn)CL系列光開(kāi)關(guān)-單模-雙向
標(biāo)準(zhǔn)CL系列光開(kāi)關(guān)-保偏
標(biāo)準(zhǔn)CL系列光開(kāi)關(guān)-保偏-雙向
標(biāo)準(zhǔn)高功率CL系列光開(kāi)關(guān)-單模
標(biāo)準(zhǔn)高功率CL系列光開(kāi)關(guān)-單模-雙向
標(biāo)準(zhǔn)高功率CL系列光開(kāi)關(guān)-保偏
標(biāo)準(zhǔn)高功率CL系列光開(kāi)關(guān)-保偏-雙向
CL系列光開(kāi)關(guān)-LIDAR應(yīng)用
CL系列光開(kāi)關(guān)矩陣
集成式MEMS振鏡
MEMS振鏡控制器
直徑高達(dá)2.4毫米的集成MEMS振鏡是單片制造的，作為無(wú)萬(wàn)向節(jié)執(zhí)行器設(shè)備結(jié)構(gòu)的集成部分。它們是硅芯片的中心區(qū)域，與周圍的靜電致動(dòng)器共享相同的微細(xì)加工步驟。這些鏡子由相同的可用硅層構(gòu)成，具有幾乎完全平坦和光滑的硅表面。在四個(gè)側(cè)面，鏡子連接到提供兩軸運(yùn)動(dòng)的雙軸連桿。自2016年以來(lái)，我們不斷庫(kù)存具有以下直徑的集成反射鏡的設(shè)備:0.8毫米、1.2毫米、2.0毫米和2.4毫米。所有庫(kù)存的集成反射鏡都涂有純鋁，可在非常寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)提供高反射率。金金屬化可以在晶圓規(guī)模上進(jìn)行，因此可用于更大的生產(chǎn)訂單。
主要特征 
返回列表頁(yè)標(biāo)準(zhǔn)模塊光學(xué)參數(shù)
| 型號(hào)/系列 | 機(jī)械偏轉(zhuǎn)角[°] | 磨具尺寸[mm] | 振鏡直徑[mm] |
|---|---|---|---|
| A3I8.2-800AL | ±6 | 4.25 x 4.25 | 0.8 |
| A7M8.1-800AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 0.8 |
| A7M10.2-1000AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 1 |
| A3112.2-1200AL | ±5 | 4.25 x 4.25 | 1.2 |
| F1M16.2-1600AL | ±4.5 | 5.20 x 5.20 | 1.6 |
| A7M20.2-200OAL | ±5 | 5.20 x 5.20 | 2 |
| A5M24.3-2400AL | ±5 | 7.25 x 7.25 | 2.4 |
