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MEMS振鏡
MEMS振鏡控制器
微型，高性能，電磁驅(qū)動的二維激光掃描MEMS振鏡
S13989-01H是電磁驅(qū)動振鏡，結(jié)合了我們獨特的MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)。通過將磁鐵布置在振鏡下方，可以使設(shè)備占地空間更小。通過采用氣密密封包裝，可實現(xiàn)高可靠性。振鏡周圍的線圈中流動的電流根據(jù)弗萊明定律驅(qū)動振鏡產(chǎn)生洛倫茲力。濱松MEMS反射振鏡具有大的光學偏轉(zhuǎn)角和高反射鏡反射率。
主要特征 
返回列表頁產(chǎn)品特點
·低電流運行
典型應用
﹒超小型尺寸
產(chǎn)品特征
·較大的光學偏轉(zhuǎn)角
標準模塊光學參數(shù)
| 類型 | For 2-dimensional scan |
|---|---|
| 掃描模式 | 2-axis raster scan |
| 運行模式 | Fast axis: Non-linear mode (resonant mode) Slow axis: Linear mode |
| 振鏡尺寸 | 1.23 mm |
| 振鏡材料 | Aluminium |
| 光學偏轉(zhuǎn)角 | Fast axis: 主20° Slow axis: ±12 |
| 驅(qū)動頻率(最大值) | Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz |
